利用非聚合性气体(无机气体)，如Ar,H2、 O2、 N2、空气等的等离子体进行表面反应。参加表面反应的有激发态原子、分子、自由基和离子以及光子等，通过表面反应有可能在聚合物表面引入特定的官能团，产生表面刻蚀，形成交联结构层或自由基。

　　利用有机气体单体进行等离子体聚合。等离子体聚合是指在有机物蒸气中生成等离子体，所形成的气相自由基吸附到固体表面形成表面自由基，再与气相单体或等离子体中形成的单体衍生物在表面发生聚合反应，从而可以形成相对分子质量较高的聚合物薄膜。

　　等离子体引发聚合或表面接枝。首先用非聚合气体对高分子材料表面进行等离子体处理，使表面形成活性自由基[这一点已被许多实验所证实，表面自由基可用电子顺磁共振(ESR)测定]，然后利用活性自由基引发功能性单体使之在表面聚合或接枝到表面。等离子体引发表面接枝通常有三种方法：其一，表面经等离子体处理后，接触气化了的单体进行接枝聚合，即气相法。此法由于单体浓度低，与材料表面活性点接触机会少，接枝率低。其二，材料表面经等离子体处理后，不与空气接触，直接进入液态单体内进行接枝聚合，即脱气液相法。此法可提高接枝率，但同时产生均聚物而影响效果。其三，材料表面经等离子体处理后，接触大气，形成过氧化物，再进入溶液单体内，过氧化物受热分解成活性自由基， 即常压液相法。另外，等离子体接枝聚合还可以采用"同时照射法"，即先使单体吸附于材料表面，再暴露于等离子体中，在处理过程中进行接枝。